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                      URE-2000/35型紫外光刻機

      
    URE-2000/35型紫外光刻機
    
      
        
      更新時間：2024-06-04
      
        
      型號：
      
        
      瀏覽量：6284
      
    
      
    
      URE-2000/35型紫外光刻機，采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復位實現(xiàn)自動化控制。
      
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                      TYG-2000/T2步進投影光刻機

      
    TYG-2000/T2步進投影光刻機
    
      
        
      更新時間：2024-06-04
      
        
      型號：
      
        
      瀏覽量：2076
      
    
      
    
      TYG-2000/T2步進投影光刻機，照明系統(tǒng)：冷光橢球鏡;   350W進口直流高壓汞燈（德國歐司朗）;   XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺;   光學系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2;   冷卻風扇
      
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                      DS-2000/14G型光刻機

      
    DS-2000/14G型光刻機
    
      
        
      更新時間：2024-06-04
      
        
      型號：
      
        
      瀏覽量：2181
      
    
      
    
      DS-2000/14G型光刻機該機可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長的極紫外光作為光源，用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板，采用積木 錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明。
      
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